产品中心

Product Center

附属湿法设备(Parts Cleaner)

外形尺寸:L*W*H(单位mm)=2400×1300×2400mm(不含排风法兰2100mm)

附属湿法设备(Parts Oven)

腔室尺寸:H*W*D(单位mm)=800×800×800mm 外形尺寸:H*W*D(单位mm)=1760×1760×2100mm

附属湿法设备(Tube Oven)

腔室尺寸:H*W*D(单位mm)=1500×1200×600mm 外形尺寸:H*W*D(单位mm)=2100×2500×1500mm

钟罩清洗机

外形尺寸:1300L×1200W×2550Hmm(不包含外挂操作屏)

电子货架 E-Rack

适用场景:用于存放Reticle并将信息上传

自动导引车 AGV

适用场景:用于搬运和抓取FOUP或Reticle

TC存储柜

适用场景:用于存储TC(石英细管)

石英存储柜

适用场景:用于存储Parts、石英管/舟

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